NanoFactory 研究プラットフォーム

原田 裕一 教授

本領域は、ナノレベルでの材料加工技術の確立とその応用を進めると共に、それらの過程で生じる物質のナノの状態での振舞いや現象について解明することを目指します。 また、本取組みは、KOINE部門での最初の研究プラットフォームでもあり、KOINEコンセプトに基づくグローバルな研究プラットフォームのモデルケースとしての検討も進めます。

KOINE

プロジェクト名

原子層堆積法を用いたグローバル産学官連携の推進

プロジェクトリーダー

原田 裕一 教授

筑紫キャンパス
グローバルイノベーションセンター 1階
TEL:092-583-7873
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原子層堆積(ALD)法を活用した三次元ナノ表面被膜と
その応用

原子層堆積(Atomic Layer Deposition)法は、自己成長停止機構に基づき材料原子を一層ずつデジタル成長する方法で、これまでの他の成長法よりも低い温度で、 かつ緻密な膜を表面の形状に関わらず三次元構造の全面に成長出来ます。このため、従来の半導体のみならず、多様な材料への適用が可能であり、プラスチックや生物といったこれまで考えもしなかった分野にも応用出来る潜在力があります。 これまで、ALD法は絶縁体の積層に使われてきましたが、アルミニウム等の金属材料も可能であり更なる応用が期待されます。 このプロジェクトでは、様々な材料や構造での表面被膜に関するALD法のノウハウや被膜レシピを集積し、分野を超えて多様な応用が出来るデータベースを構築します。 また、参加する企業や研究機関には、研究のみならず人材交流や人材育成を進めるためのネットワークをも提供し、基礎的な研究から幅広い応用研究まで深い議論とコンサルティングを行ないます。

KOINEコンセプトの普及とその適用に関する研究

KOINEは、Kyudai global Open Innovation Network Engineの略ですが、古代ギリシャ語由来の英語でもあります。 KOINEの意味は、「共通言語」です。すなわち、背景や所属などの異なる様々な立場の方々が一同に会して、議論する中で、"共通の認識"を持ち、その中から新たなアイディアを産み出し、新たな産業や新研究分野を創出するイノベーションを起こすことを目指すコンセプトです。 様々な研究プラットフォームを作り出すお手伝いをすると共に、その中からイノベーションの本質は何かについて検討をして行きます。アイディアやノウハウの普及を通じて大きな研究分野や産業を創成したい、あるいは大きな課題を解決したいとお考えの方は、是非ご連絡下さい。 ご一緒に検討を進めて行きましょう。

エッチングへのAl2O3膜の堆積/Si基板上への超伝導Al膜の堆積/通常のALD法によるグラフェン上へのAl2O3膜の堆積/二段階ALD法によるグラフェン上へのAl2O3膜の堆積
KOINE のビジョン
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