1F 第1クリーンルーム
クリックすると別ウィンドウで開きます。成膜装置 | |
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ECRスパッタリング装置 |
原子層堆積 (ALD) 装置 |
超高真空スパッタリング装置 |
小型マグネトロンスパッタリング装置 |
三源マグネトロンスパッタリング装置 |
Al蒸着装置 |
蒸着装置 |
電子ビーム蒸着装置 |
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熱処理装置 | |
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急速加熱装置 (RTA) |
酸化/アニール炉 |
ウェット酸化炉/拡散炉 |
高温処理炉 |
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その他 | |
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マスクアライナー (ミカサ(株)製) |
マスクアライナー (大日本印刷社製) |
反応性イオンエッチング装置 |
クリーンベンチ |
エリプソメトリー |
光学顕微鏡 |
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