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ECRスパッタリング装置 / ECR sputtering system

(株)アフティ 3400UD / AFTY 3400UD

固体ソースでECR（Electron Cyclotron Resonance）反応成膜
マイクロ波導入: 分岐結合型, 試料サイズ: 最大4インチ
試料温度: 最大400℃, 到達真空度: 2×10^-7 Torr(室温)
使用ガス:Ar, Kr, Xe, O₂, N₂
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