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ウェット酸化/拡散炉 / Furnace (for wet oxidation and diffusion)
光洋サーモシステム / Koyo thermo systems
最高温度(max. temp.): 1100℃
試料サイズ(sample size): 2 inch
処理雰囲気(annealing atomosphere): N
2
, O
2
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