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超高真空スパッタリング装置 / Ultra High Vacuum Sputtering
(株)アルバック九州 SPQ-203T / ULVAC Kyshu SPQ-203T
カソード: 2インチRFマグネトロン 1基
試料サイズ: 最大２インチ
試料温度: 最大650℃, 到達真空度: 1×10
-7
Torr (室温)
使用ガス: Ar, O
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