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急速熱処理(RTA)装置 / Rapit Thermal Annealing (RTA) machine

アルバック理工 RTA-85/45 / ULVAC RIKO RTA-85/45

到達真空度(vacuum): 1×10^-7 Torr (室温, RT)
到達温度(max. temp.): 1000℃
最大昇温速度(heating rate): 50℃/sec
処理雰囲気(annealing atomosphere): 真空(vacuum), N₂, O₂, Ar
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