酸化物薄膜トランジスタ作製設備(伊都キャンパス)

ドライプロセス:

スパッタ装置ドライエッチング装置CVD装置アニーリング装置

ウェットプロセス:

ウェットエッチング装置リムーバー装置ガラス洗浄装置マスク洗浄装置

リソグラフィープロセス:

露光装置塗布装置現像装置ベーク装置

プリントプロセス:

塗布装置スクリーン印刷装置インクジェット装置封止装置

第1クリーンルーム(GIC)

クリーンルーム全景

成膜装置:

ECRスパッタリング装置
原子層堆積 (ALD) 装置
超高真空スパッタリング装置
小型マグネトロンスパッタリング装置
三源マグネトロンスパッタリング装置
Al蒸着装置
電子ビーム蒸着装置

熱処理装置装置:

急速加熱装置 (RTA)・・・

リソグラフィープロセス:

スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・

第2クリーンルーム(GIC)

成膜装置:

DCスパッタ装置(ロードロック式)
熱蒸着装置(特注)
平行平板型RIE装置 (RIE-10NR)

リソグラフィープロセス:

スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・

電子デバイス計測室

電子工作室

ソフトウェア

    • JDAT : SX-Meister, Ismo, Asca
    • CADENCE : OrCAD, Virtuoso, Allegro
    • SILVACO : TCAD, Analog/Mixed Signal/RF, Custom IC CAD
    • INFOLYTICA : ElecNet, MagNet
    • MATHWORKS : MATLAB, Symulinks