酸化物薄膜トランジスタ作製設備(伊都キャンパス)
ドライプロセス:
スパッタ装置、ドライエッチング装置、CVD装置、アニーリング装置
ウェットプロセス:
ウェットエッチング装置、リムーバー装置、ガラス洗浄装置、マスク洗浄装置
リソグラフィープロセス:
プリントプロセス:
第1クリーンルーム(GIC)
成膜装置:
ECRスパッタリング装置
原子層堆積 (ALD) 装置
超高真空スパッタリング装置
小型マグネトロンスパッタリング装置
三源マグネトロンスパッタリング装置
Al蒸着装置
電子ビーム蒸着装置
熱処理装置装置:
急速加熱装置 (RTA)・・・
リソグラフィープロセス:
スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・
第2クリーンルーム(GIC)
成膜装置:
DCスパッタ装置(ロードロック式)
熱蒸着装置(特注)
平行平板型RIE装置 (RIE-10NR)
リソグラフィープロセス:
スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・
電子デバイス計測室
電子工作室
ソフトウェア
-
- JDAT : SX-Meister, Ismo, Asca
- CADENCE : OrCAD, Virtuoso, Allegro
- SILVACO : TCAD, Analog/Mixed Signal/RF, Custom IC CAD
- INFOLYTICA : ElecNet, MagNet
- MATHWORKS : MATLAB, Symulinks