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Al蒸着装置 / Aluminum evaporation system

アルバック九州(株) RHQ-06TP / ULVAC Kyushu RHQ-06TP

到達真空度(vacuum): 2×10^-7 Torr (室温, RT)
成膜方式(method): 抵抗加熱(resistive heating), 自動運転(automatic)
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