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三源マグネトロンスパッタリング装置 / 3-cathodes Magnetron Sputtering system
アネルバ(株) L-100-HF / ANELVA L-100-HF
カソード: 2インチRFマグネトロン 3基
試料サイズ: 最大2インチ
試料温度: 最大600℃, 到達真空度: 1×10
-6
Torr (室温)
使用ガス: Ar, O
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